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半導(dǎo)體清洗作為芯片生產(chǎn)中最基本的環(huán)節(jié)貫穿硅片制造、晶圓制造、包裝。隨著技術(shù)節(jié)點的進(jìn)步，清洗過程越來越精細(xì)，對清洗設(shè)備的需求也會相應(yīng)增加。

近年來，我國半導(dǎo)體清洗技術(shù)和設(shè)備不斷完善，盛美上海、純科技、北方華創(chuàng)等企業(yè)成果堪比國際領(lǐng)先企業(yè)。

聚焦?jié)穹ㄇ逑丛O(shè)備

公開資料顯示，根據(jù)清洗介質(zhì)的不同，半導(dǎo)體清洗技術(shù)分為濕法清洗和干法清洗兩種工藝路線，其中濕法清洗是主流技術(shù)路線。

所謂濕法清洗，是指通過腐蝕、溶解、化學(xué)反應(yīng)等方法，利用溶液、酸堿、表面活性劑、水及其混合物，使硅片表面的雜質(zhì)與溶劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生可溶性物質(zhì)、氣體或直接脫落，從而達(dá)到清洗硅片的目的。

濕法清洗可分為化學(xué)方法和物理方法。

化學(xué)方法主要是將硅片浸入不同的化學(xué)藥劑中以達(dá)到清洗的目的。根據(jù)藥劑的不同又有RCA清洗、改進(jìn)RCA清洗、臭氧清洗、IMEC清潔等多個分支。

物理方法則是將化學(xué)藥劑與物理方法結(jié)合，通過機(jī)械刷洗、超聲波/兆聲波清洗法、二流體清洗法、旋轉(zhuǎn)噴淋法等物理技術(shù)，對硅片進(jìn)行全面清洗的過程。由于各大企業(yè)使用的藥液基本相同，輔助物理方法成為不同工藝的主要差別。

國內(nèi)企業(yè)差異化競爭趨勢明顯

目前，全球清洗設(shè)備市場主要是迪恩士SCREEN、東京電子TEL、泛林LAM與細(xì)美事SEMES四家公司總市場份額達(dá)到90%以上，其中迪恩士市場份額超過50%。在清洗方法上，國際巨頭主要采用容器浸泡法、旋轉(zhuǎn)噴淋法和機(jī)械刷洗法，其中旋轉(zhuǎn)噴淋法是主流路線，目前已完成7項nm以上硅片清洗規(guī)格。但國內(nèi)情況差異較大，各大清洗設(shè)備企業(yè)路線不同，各有突破。

1/盛美上海清洗設(shè)備底蘊(yùn)深厚

在清洗設(shè)備方面，盛美上海有著深厚的底蘊(yùn)。根據(jù)公司財務(wù)報告數(shù)據(jù)，半導(dǎo)體清洗設(shè)備收入是主要收入來源。公司清洗設(shè)備主要包括單片清洗設(shè)備、自動槽清洗設(shè)備、單片槽組合清洗設(shè)備。TEBO兆聲波清洗設(shè)備。

公司成功研發(fā)出全球首創(chuàng)公司SAPS、TEBO兆聲波清洗技術(shù)及Tahoe單片槽式組合清洗技術(shù)，可應(yīng)用于45nm以下技術(shù)節(jié)點的晶圓清洗領(lǐng)域可可有效解決腐蝕后有機(jī)污染和顆粒清洗難題，并大幅減少濃硫酸等化學(xué)試劑的使用量。

此外，業(yè)界還對盛美上海今年7月中旬推出的新型化學(xué)機(jī)械進(jìn)行了研磨(Post-CMP)更注重清洗設(shè)備。該清洗設(shè)備的6英寸和8英寸配置適用于碳化硅(SiC)襯底制造;硅晶圓制造適用于8英寸和12英寸的配置。

近日，盛美上海宣布投資建設(shè)高端半導(dǎo)體設(shè)備拓展研發(fā)項目。據(jù)披露，該項目擬開發(fā)的產(chǎn)品包括干法設(shè)備拓展產(chǎn)品和超臨界產(chǎn)品CO2清洗干燥設(shè)備，總投資7.48億元，其中研發(fā)費(fèi)用2.6億元。

2/至純科技對標(biāo)國際巨頭

至純技術(shù)擅長單片清洗設(shè)備和槽式清洗設(shè)備，該公司單片式濕法設(shè)備為旋轉(zhuǎn)噴淋Spin-Spray類型，其對標(biāo)迪恩士SCREEN、泛林LAM等企業(yè)。業(yè)界消息顯示，至純科技能提供全部28nm節(jié)點濕法設(shè)備，有望成為高端濕法設(shè)備的領(lǐng)導(dǎo)者。

據(jù)至純科技財報數(shù)據(jù)顯示，2021年，該公司濕法設(shè)備在幾條成熟生產(chǎn)線上獲得了整條線的設(shè)備訂單，有效取代了以前的制造商;公司還在氮化鎵和碳化硅生產(chǎn)線上獲得了整條線的濕法設(shè)備訂單;公司還在先進(jìn)工藝的28納米節(jié)點獲得了所有工藝的設(shè)備訂單;在14納米以下制程也拿到了4臺濕法設(shè)備訂單。

2021 年公司的單片濕法設(shè)備和槽式濕法設(shè)備全年出機(jī)超過了97臺。同時12英寸濕法設(shè)備新訂單超過6億元，其中單片濕法設(shè)備新訂單超過3.8億元。2021年，公司子公司至微科技成功引進(jìn)多家戰(zhàn)略投資者，助力業(yè)務(wù)加快發(fā)展。

此外，今年一季報至純科技公司主營收入5.48億元，同比增長136.98%。恰逢半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展的黃金時期，近兩年純科技合同負(fù)債和存貨持續(xù)增長，2021年至純科技合同負(fù)債和存貨分別為2.40億元和11.95億元，創(chuàng)歷史新高，也代表著公司在手訂單規(guī)模不斷擴(kuò)大，今年公司新訂單目標(biāo)超過40億元。

3/北方華創(chuàng)重視設(shè)備全鏈條發(fā)展

北華創(chuàng)作為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)，公司產(chǎn)品線相對齊全。經(jīng)過多年的深入研發(fā)該公司完成了刻蝕機(jī)、磁控濺射、氧化爐、低壓化學(xué)氣相沉積、清洗機(jī)、原子層沉積等集成電路設(shè)備90/55/40/28納米工藝驗證，部分設(shè)備已突破先進(jìn)制程，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

在清洗設(shè)備上發(fā)展喪，北方華創(chuàng)與2018年收購了美國半導(dǎo)體清洗設(shè)備公司Akrion，完善了清洗設(shè)備產(chǎn)線。目前該公司可提供各種單片清洗設(shè)備和全自動槽清洗設(shè)備，可適用于技術(shù)節(jié)點為65nm、28nm工藝的芯片制造。

通過對比上述三家企業(yè)可明顯得知，北方華創(chuàng)重視企業(yè)產(chǎn)品的全鏈條發(fā)展，盛美上海則在清洗設(shè)備設(shè)備環(huán)節(jié)愈加精細(xì)化，并逐步開拓其他鏈條。至純科技則高度對標(biāo)國際企業(yè)，聚焦高端產(chǎn)品，各家公司差異化競爭趨勢明顯。